高纯气体压力液位温度流量监测解决方案-麦克传感器股份有限公司
高纯气体压力监测

高纯气体是晶圆制造、光伏电池板生产、显示面板加工过程中非常重要的原材料,参与整个产品生产加工过程。气体种类繁多,纯度高,部分气体有毒有害、易燃易爆。麦克传感提供此行业应用的压力监测解决方案。

  • 厂务高纯气体输送设备配套

    高纯气体从存储,输送,分配到尾气处理,都离不开压力监测。麦克传感全自主研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表,对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说,是理想的选择。

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  • 气体质量流量控制器(MFC)

    气体质量流量控制器(MFC)广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜、生物制药及实验室气路系统,用于对工艺气体进行精确计量和闭环控制。压力传感器可用于监测MFC入口与出口压力,判断供气稳定性及阀门工作状态;差压传感器可用于检测节流元件、过滤器或内部流道两端的压力差,为流量计算、压力补偿、堵塞诊断及控制阀调节提供关键数据支持。

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