应用概述
气体质量流量控制器(MFC)广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜、生物制药及实验室气路系统,用于对工艺气体进行精确计量和闭环控制。压力传感器可用于监测MFC入口与出口压力,判断供气稳定性及阀门工作状态;差压传感器可用于检测节流元件、过滤器或内部流道两端的压力差,为流量计算、压力补偿、堵塞诊断及控制阀调节提供关键数据支持。


气体质量流量控制器(MFC)广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜、生物制药及实验室气路系统,用于对工艺气体进行精确计量和闭环控制。压力传感器可用于监测MFC入口与出口压力,判断供气稳定性及阀门工作状态;差压传感器可用于检测节流元件、过滤器或内部流道两端的压力差,为流量计算、压力补偿、堵塞诊断及控制阀调节提供关键数据支持。
1、气体的体积会随温度和压力发生显著变化。同一根管道、同样的“m³/h”读数,夏天和冬天实际通过的气体分子数量并不相同。
2、传统涡街、孔板等仪表获取的是工况体积流量,若要得到质量流量或标况体积,就必须额外加装温度传感器和压力传感器进行补偿计算。如果缺乏压力补偿,测量误差很容易达到10%–20%甚至更多。
1、精度跃升:从10%–20%的误差区间直接跨入±1%甚至±0.5%的精度级别;
2、系统简化:无需外置压力变送器,减少故障点和误差链条;
3、动态响应:毫秒级闭环控制,快速应对压力波动;
4、长期可靠:先进的压力补偿算法确保在宽温域、宽压域下保持稳定性。

高纯气体从存储,输送,分配到尾气处理,都离不开压力监测。麦克传感全自主研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表,对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说,是理想的选择。
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