差压变送器

麦克项目案例 | 麦克传感助力半导体等离子水清洁压力监测

时间 : 2022-09-19      作者 : 麦克传感器股份有限公司

半导体是指在某些情况下能够导通电流,而在某些条件下,又具有绝缘体效用的物质,在工业生产中有着非常重要的作用。在半导体元件的生产过程中,几乎每道工序都需要用到清洗,这就衍生出等离子半导体洗涤这一产业,该系统生产厂家主要分布于日韩、中国、德国、美国。

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等离子水清洗的原理是什么?

离子清洗中的“原料”是工艺气体,需要实现气体压力的稳定和大小可调,所以要在等离子清洗系统的相关气路,或气路的元器件,加装特制的压力变送器用以监测并反馈相关信号。

在等离子体半导体洗涤系统运行过程中,需要高频电源激发工艺气体以产生等离子体,而此过程中会有很强的电磁场,这对电子元器件的EMC性能提出了非常高的要求。

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另外,完成清洗产生的废气中,会伴随着二次化学反应而产生细小的颗粒,对变送器的压力接口结构也有特殊要求。

还有一些其他特性都会影响压力变送器的测量和稳定信号输出,常规传感器在这个应用中,输出信号会受到干扰而产生大的波动。 

麦克传感为等离子水清洗行业提供什么设备?

麦克传感器的定制压力变送器产品——M20压力变送器,通过针对应用环境的机械设计和电路设计升级,可以匹配应用场景,为客户提供更准确、稳定的压力测量。

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  • 量程范围:0kPa ~ 25kPa 至 0MPa ~ 40MPa;

  • 高性能高性价比;

  • 适用于通用工业;

  • 全焊接、适配透气膜;

  • 全数字温度补偿和校准;

  • 具备多方国际认证。

未来,麦克传感将继续为不同领域的客户提供专业设备以及定制化监测解决方案。

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