MEMS系列压力传感器

时间 : 2018-03-01      作者 :

一、产品简介

      MEMS压力传感器基于MEMS技术、采用SOP、DIP、COB等封装形式,适用于无腐蚀性的纯净气体测量。我们研发的MEMS系列压力传感器,具有以下特点:



    


二、MEMS测压原理

      MEMS压力传感器,核心部分是一颗利用MEMS技术加工的硅压阻式压力敏感芯片,由一个弹性膜及集成在膜上的四个电阻组成,组成了惠斯通电桥结构。

当有压力作用在弹性膜上时,电桥会产生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。

 

MEMS压力传感器结构


三、产品优势

 


四、产品应用

      MEMS压力传感器基于其尺寸小、成本低的特点广泛应用于生物医学、汽车电子等领域。